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半导体设备行业专题报告：CMP，“小而美”，国产装备崛起 Sina

网页2021年8月24日（1）研磨速率：单位时间内晶圆表面材料被研磨的总量。（2）研磨均匀性：分为片内均匀性和片间均匀性。片内均匀性指某个晶圆研磨速率的标准方差和研磨速率的比值；片间均匀性用于表示不同圆片在同一条件下研磨速率的一致性。（3）缺陷量。

化学机械抛光 Slurry 的蜕与进电子工程世界 EEWorld

网页2009年5月31日抛光过程中，H2O2分解为水和溶于水的O2，O2与W反应生成氧化钨（WO3）。WO3比W软，由此就可以将W去除了。 Slurry研究的最终目的是找到化学作用和机械作用的最佳结合，以致能获得去除速率高、平面度好、膜厚均匀性好及选择性高

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网页2012年6月27日一般钨化学机械抛光在钝化态临近腐蚀的边界条件下进行。所以钨化学机械抛光的抛光液PH 一般为2￣4。这种抛光液对钨有很高的抛光速率，而对层间绝缘膜的抛光速率很低，其选择比约为50：1，可以保证去除钨膜并停止在层间绝缘膜表面。

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煤渣破碎用什么设备好（颚式破碎机、锤式破碎机、圆锥破碎机）

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